바스프(BASF)는 2009 대만반도체박람회(SEMICON Taiwan 2009)를 통해 반도체 세정과 평탄화 (CMP, Chemical Mechanical Planarization) 및 구리 전기도금(copper electroplating) 등 최신 제품들을 연속으로 선보인다고 밝혔다. 또한, 반도체의 가격을 낮추고 수율을 늘리는데 도움을 주는 온도 측정 열전기쌍(thermocouples)도 함께 소개할 예정이다. 이번 박람회는 2009년 9월 30일에서 10월 2일까지 대만 타이베이에 위치한 세계 무역 센터에서 열린다.

바스프 전자 재료 사업부문 총괄을 맡고있는 바우터 타엔 (Wouter Taen)은 “바스프의 힘은 화학에 있다”며, “고객들에게 ‘지능형 솔루션’을 제시하는 데 주력하고 있으며, 이는 바스프가 경제 불황 속에서도 가장 높은 R&D 예산을 유지할 수 있었던 이유 중 하나“라고 밝혔다. 또한, ‘지능형 솔루션’이라는 말은 단순히 새로운 제품 출시를 의미하는 것이 아니라 적합성과 효율성을 포함한 실제적인 혜택을 제공하겠다는 의미라면서, 고객의 필요를 이해하기 위해 긴밀히 작업하고 있음을 강조했다.

특히, 수축 과정의 기술 개선 분야는 점점 난이도가 높아지고, 비용 소요도 높아지고 있다. 속도 개선과 비용 저감은 반도체 제조업자들이 경쟁력을 유지할 수 있는 두 가지 중요 요소로서, 바스프는 대만 반도체 박람회에서 반도체 수율을 높일 수 있는 솔루션에 대해 논의할 예정이다.

습식 에칭후 잔류물 제거제(All-Wet Post-etch Residue Remover) : 유럽의 나노전자 독립 연구센터인 IMEC와 공동으로 개발한 뛰어난 세정액으로서, 세정과정 중 한 단계를 단축시켜주고 저유전상수 물질(low-k material)을 파괴하지 않는다는 장점이 있다.

맞춤형 CMP 유기 슬러리(Adaptive Organic Slurry for CMP) : 혁신적인 신 개념의 CMP 슬러리로서, 평탄화 과정 중 웨이퍼(wafer)에 필요한 정확한 화학성분을 전달한다. 제거 효율 제고 및 결함 감소를 통해 더 높은 제조 수율 및 처리량을 제공한다.

최신 구리 솔루션(Advanced copper solutions) : 상호접속 전기도금과 TSV (through-silicon-vias)를 위한 효율적이고 신뢰할 수 있는 솔루션이다.

높은 수율을 위한 뛰어난 온도감식력 : 에피택셜 리액터(epitaxial reactor)에 사용되도록 새롭게 출시된 X3-M 에피택셜 열전쌍(epitaxial thermocouples)은 안정적인 온도 컨트롤과 함께 길어진 수명, 그리고 가격대비 우수한 성능을 제공한다. 바스프만의 독점적인 Fibro 와이어 기술은 비드와 개방형 접속 가까이에 있는 와이어를 평평하게 눌러줌으로써, 열전쌍 와이어(thermocouple wires)의 기계적 실패를 야기할 수 있는 과립 성장(grain growth)을 감소시킨다.

바스프 촉매 사업부문(Catalysts Division)은 반도체나 유리를 비롯한 여러 산업들을 위해 귀금속 열전쌍과 광온도계를 제공하는 온도감식 솔루션 (Temperature Sensing solutions)을 제공한다. 바스프는 30년 이상의 온도 측정 기술을 이끌어온 선두기업으로서, 높은 수율과 고객들의 성공을 도울 수 있는 통찰력을 제공한다.

바스프는 어려운 경제적인 상황에 관계없이 반도체산업에 전념하고 있으며, 지난 7월에는 IMEC와의 특정 세정 솔루션 공동 개발 프로그램을 확대한다는 내용을 발표한 바 있다.

바스프는 선도적인 글로벌 화학회사로 플라스틱, 기능성 제품, 농화학, 정밀화학 그리고 원유와 천연가스 등 다양한 화학제품들을 고객들에게 제공하고 있다. 바스프는 지능형 시스템 솔루션과 고부가가치 제품을 통해 거의 모든 산업분야에서 신뢰성 높은 파트너로 인정 받고 있으며, 동시에 고객의 성공 가능성을 한층 높이고 있다. 또한 바스프는 기후 보호, 에너지 효율성 등의 글로벌 과제를 해결하는데 중요한 역할을 담당하고 있다. 바스프에는 약 9만7천명이 근무하고 있으며, 2008년 매출액은 약 620억 유로를 기록했다. 바스프 주식은 프랑크푸르트(BAS)와 런던(BFA), 쮜리히(AN)에서 거래되고 있다.

바스프는 1954년 한국에 진출하여 오늘날 국내외 고객들에게 석유화학, 폴리우레탄, 정밀화학 및 기능성 제품 등 각종 화학산업 제품들을 공급하는 국내 최대 외국기업 중의 하나로 인정받고 있다. 한국바스프는 2008년 말 기준 약 1,000명의 임직원들이 서울 사무소와 울산, 여수, 군산, 안산 공장에 근무하며 지난 2008년 기준 2조 4천억원의 매출을 올렸다.

바스프 무기화학 사업부문은 천연가스와 세계의 금속화확물에 기반을 둔 제품 등 광대한 포트폴리오를 지닌 무기화학물을 개발 및 생산하고 있다. 주로 건설, 제약, 식품과 목공기계 산업 등에서 제품을 공급하고 있다. 제품 포트폴리오는 황산(sulfuric acid)이나 질산(nitric acid)과 같은 기초무기화학물에서부터 보란(borane), 카르보닐 철 파우더(carbonyl iron powder), 접착제와 임프레그네이팅 수지, 전자 화학물과 비료 등의 스페셜티 화학물까지 포함하고 있다. 유럽, 아시아와 미국 현장에서 약 3,000명의 직원들이 무기화학 사업부문에서 근무하고 있다.

바스프 촉매 사업부문은 전 세계의 환경과 프로세스 촉매 공급의 선두주자이다. 우리가 숨쉬는 공기를 보호하고, 세계의 연료를 생산하는 한편, 다양한 화학물, 플라스틱, 흡착제와 다른 여러 제품들의 효율적인 생산을 책임지는 기술 개발에 있어 최고의 전문성을 제공하고 있다. 산업을 선도하는R&D, 혁신에 대한 열정, 귀금속과 비금속에 대한 깊은 지식을 갖고 독특한 촉매 및 흡착제 솔루션을 개발하고 있다.

씨스켐닷컴(2009-09-15)