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Silane(실란)
Silane
CAS No. : 7803-62-5
별명 : Silicon tetrahydride, Silicane
화학식 : SiH4, 분자량 32.09
성상 : 기체, 역겨운 냄새가 남. 융점 18.5℃, 비점 -111.9, 증기압(-118℃에서) 530mmHg, 임계온도 47.8℃, 임계압력 -3.5atm, 산소와 접촉하면 폭발적으로 반응하여 Si2O와 H2O를 형성하며 강한 환원제이어서 할로겐화합물이니 알카리 용액중에서 격렬한 반응이 일어난다.실온에서 열적으로 안정하여 장기간 보존할 수 있으나 700-800℃의 고온에서는 규소와 수소로 열분해된다.
용도 : Epitaxial 성장 및 CVD(Chemical Vapor Deposition)용 가스, 반도체용 단결정 규소의 제조 원료, 산화규소 및 실화규소의 원료, 전자공업용 고순도 초미립 SiO2의 제조 원료
원료 : 금속시규소, 수소가스, 사염화실란가스, 촉매(아민류)
제법 : 실란을 제조하는 방법은 여러 가지이며, 이중 Union Carbiade법을 소개하면 다음과 같다. 금속규소 분말을 유동반응 장치에 채운 다음 932℉정도에 가열한후 건소, 수소가스, 사염화실란가스와 반응시켜 삼염화실란을 얻고 이를 촉매상에서 재분배하여 실란을 제조하며 촉매로는 아민류가 사용된다.
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