|
|
Monosilane(¸ð³ë½Ç¶õ)
Monosilane
CAS No. : 7803-62-5
º°¸í : ½Ç¶õ, ¼ö¿°È±Ô¼Ò, 4¼ö¼ÒȱԼÒ
ÈÇÐ½Ä : SiH4
¼º»ó : »ó¿Â¿¡¼ ¹«»öÅõ¸íÇÑ ¾×ü. ºñÁ¡ -112¡É, ÀÀ°íÁ¡ -185¡É, ¹Ðµµ 0.68g/cm3
¿ëµµ : ¹ÝµµÃ¼ Àç·á
¿ø·á : ±Ôȸ¶±×³×½·, ¾Ë·ç¹Ì´º¸®Æ¬, 4¿°È±Ô¼Ò µî
Á¦¹ý : ±Ôȸ¶±×³×½·¹ý : ºê·ÒȾϸ𴽰ú ±Ôȸ¶±×³×½·À» ¹ÝÀÀ½ÃÄÑ ¾ò´Â´Ù(¼öÀ²: 70-80%). ¼ö¼ÒȾ˷ç¹Ì´½¸®Æ¬¹ý : °È¯¿øÁ¦ÀÎ ¼ö¼ÒȾ˷ç¹Ì´½¸®Æ¬À» 4¿°È±Ô¼Ò¿Í ¿¡Å׸£Áß¿¡¼ -15¡-20¡É·Î ³Ã°¢ ¹ÝÀÀ½ÃÄÑ ¾ò´Â´Ù(¼öÀ²: 70-80%). ºÒ±ÕÈ ¹ÝÀÀ¹ý : ½Ç¸®Äܺи», 4¿°È±Ô¼Ò, ¼ö¼Ò¸¦ ¹ÝÀÀ½ÃÄÑ 3¿°È±Ô¼Ò¸¦ Á¦Á¶ÇÏ°í Ã˸Ÿ¦ ³Ö¾î ºÒ±ÕȹÝÀÀ½ÃÄÑ 2¿°È½Ç¶õÀ» ¾ò´Â´Ù. ºÒ±ÕÈÃË¸Å¿Í Èí»çÇÑ 2¿°È½Ç¶õÀ¸·ÎºÎÅÍ 3¿°È½Ç¶õ°ú ¸ð³ë½Ç¶õÀ» ¾ò´Â´Ù.
|
|
|
|